SRM2133 i深度剖面中磷种植(标准品)

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标准参考材料® 2133

硅深度剖面标准中的磷植入物

•       SRM2133 i深度剖面中磷种植(标准品)本标准参考物质(SRM)用于校准次级离子对次级和次级离子的响应用二次离子质量分析技术测定硅基质中痕量磷光谱法(SIMS)。SRM 2133是用于校准SIMS仪器对磷的响应在一组特定仪器条件下的硅矩阵。它也可以被实验室用作转移物硅中磷工作标准的校准标准。该SRM由1厘米× 1厘米组成以100keV的名义能量注入同位素31P的单晶硅衬底。

           SRM2133 i深度剖面中磷种植(标准品)被认证为31P原子的保留剂量。剂量以每单位磷质量表示单位面积。关于磷原子浓度随深度变化的附加非认证信息表面以下是基于SIMS分析提供的。

认证值和不确定度:31P原子的总保留剂量由放射化学中子确定激活分析(RNAA)两种独立制备的磷参比溶液的等分(其中一种是NIST SRM 3139a磷标准溶液，磷浓度认证)沉积在铝箔并作为标准。由此产生的认证值和扩展不确定度为:

认证值中的不确定性表示为扩展不确定性U = kuc，其中k是覆盖因子为2.0，给出了95%的近似置信水平，uc是计算出的综合标准不确定度根据ISO指南[1]。组合标准不确定度是通过对个体进行组合得到的从测量过程中通过传播不确定度[1]得到或估计的标准不确定度。的A类和B类标准不确定度分量来自以下测量不确定度主要来源:(1)样本的测量复制和异质性;(2)样本的测量复制比较标准，(3)标准溶液浓度，(4)放射化学杂质，(5)体积(6)载流子产率的测定。所有已知的潜在不确定性来源都是如此被考虑[2-4]。